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| 项目 | IM-1500 | IM-VIS | IM-UV |
|---|---|---|---|
| 光谱仪波长范围 | 1500nm | 360~1100nm | 230~800nm |
| 探头工作距离 | Approx. 10~13mm | Approx. 10~13mm | Approx. 10~13mm |
| 量测范围 | 10~800um (Silicon) | 7nm~49000nm (SiO2 film) | 3nm~35000nm (SiO2 film) |
| 量测精度 (Ref.Block) | +/- 0.5um (full range) +/- 0.2um (<300um) |
+/- 0.1nm (<100nm) +/- 0.5% (>100nm) |
+/- 0.1nm (<100nm) +/- 0.5% (>100nm) |
| 厚度量测重复性 | +/- 0.5um (full range) +/- 0.2um (<300um) |
+/- 0.1nm (<100nm) +/- 0.5% (>100nm) |
+/- 0.1nm (<100nm) < 0.5% (>100nm) |
| 对应材料 | Silicon, GaAs, SiC Sapphire, Glass… | SiO2 / PI / PR… | SiO2 / PI / PR… |
备注: 可搭配显微影像架构: @2x : FOV ~4000um @10x FOV~800um @10x FOV~400um
