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| Model Name | IM LG3001 | IM LG3002 | IM LS3001 | IM LS3002 | IM LS2002 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Processing Method | Units | SI Grooving | SI Grooving | SI Stealth | Glass Stealth | SIC Stealth | |
| 激光器 | 波长 | nm | 532mm | 532mm | 1135mm | 532mm | 1064mm |
| 功率 | w | 60W | 60W | 8W | 20W | 18W | |
| PS | 皮秒 | 皮秒 | 皮秒 | 皮秒 | 皮秒 | ||
| 整形方式 | SLM | SLM/DOE | SLM | SLM | SLM | ||
| 晶圆尺寸 | inch | 6", 8", 12" | 6", 8", 12" | 6", 8", 12" | 6", 8", 12" | 6", 8" | |
| X轴 | 加工范围 | mm | 500 | 500 | 500 | 500 | 300 |
| 移动速度 | mm/s | 50~1000 | 50~1000 | 50~1000 | 50~1000 | 50~1000 | |
| 直线度 | um | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±1 | |
| 重复定位精度 | um | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.5 | |
| Y轴 | 加工范围 | mm | 450 | 450 | 450 | 450 | 300 |
| 直线度 | um | ±1 | ±1 | ±0.5 | ±0.5 | ±1 | |
| 重复定位精度 | um | ±0.5 | ±0.5 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.5 | |
| 光学轴 | 移动分辨率 | mm | 0.00005 | 0.00005 | 0.00005 | 0.00005 | 0.00005 |
| 重复精度 | mm | 0.001 | 0.001 | 0.001 | 0.001 | 0.001 | |
| θ轴（卡盘台） | deg | 120 | 120 | 120 | 120 | 120 | |
| 功耗 | kW | 11 | 11 | 6 | 5.5 | 6 | |
| 压缩空气 | kg | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 6.5 | |
| 空气消耗量 | L/mins | 3000 | 3000 | 2000 | 2000 | 2000 | |
| 重量 | T | 4.4~4.6 | 4.4~4.6 | 3.2~3.6 | 3.2~3.6 | 3.1~3.5 | |